CVD气相沉积管式炉

CVD气相沉积管式炉

CVD管式炉,气相沉积管式炉

本款CVD管式炉工作温度为300℃至1600℃,配备真空泵,气体混合装置。我们的CVD管式炉采用了先进的温度控制系统,高温精度,出色的气体流量精度,易于操作,出色的隔热效果和温度均匀性。 主要用于大学,研究中心和生产企业进行气相沉积相关的实验与生产。

CVD 气相沉积管式炉

高温真空管式炉特点

  • 最高温度:
    1200℃(HRE电阻丝加热)
    1400℃ (硅碳棒加热)
    1600℃ (硅钼棒加热)
  • 智能化51段可编程自动控制
  • 双层风冷结构;炉壳表面温度低于50℃
  • 304不锈钢双层密封法兰
  • 两端可调节法兰支撑结构,延长炉管使用寿命
  • 超温保护功能,当温度超过允许设定值自动断电
  • 安全保护当炉体漏电时自动断电
  • 升温速率≦20 ℃ /分
  • 控温精度±1 ℃
  • 最大真空度-0.08MPa
  • 配置分子泵机组,真空度可达7×10^(-3)Pa

CVD管式炉配套设备

多路气体控制柜

多路气体控制柜

质量流量计配气柜

质量流量计配气柜

质量流量计

 

真空管式炉技术规格

. 技术参数

最高工作温度1600℃ (<2小时)
温度仪表PID温控仪表-郑州博纳热● 人工智能PID仪表,自动控制温度。双向反并联可控硅调压,对电炉温度进行精准控制,并具有限流功能。防止供电电压不稳,电流突然过大引起跳闸,烧损电气元件等。 (我公司采用的可控硅为国际优秀品牌:西门康
● 51段编程曲线,根据预置程序自动升温、保温、降温。一键完成,无需工人值守。
● 内置控温参数自整定功能。.
● 具有超温报警,热电偶断裂报警,并自动切断供电电源,提供可靠保护。
控温精度±1℃
加热速率0-20℃/分钟
热电偶B型(双铂铑) ,热电偶保护管为纯度 99.7%的刚玉管
加热元件高纯硅钼棒
普通真空-0.08MPa
高真空7×10^(-3)Pa (分子泵)
配套设配气体混合控制柜,质子流量计,浮子流量计
炉膛三层全纤维炉衬,构成整个炉膛
● 第一层: 1800型多晶氧化铝陶瓷纤维。保证炉膛足够的强度,又确保具有极好的隔热效果。
● 第二层: 1430型多晶氧化铝陶瓷纤维。
● 第三层: 保温棉若干。
炉壳结构● 高强度碳钢制作而成,酸洗磷化除锈后,静电喷塑,美观大方。
● 双层风冷炉壳,内置2-4个散热风机,确保炉壳表面温度低于60℃.
产品保修1. 自验收之日起,高温箱式炉整机免费保修一年。如果设备出现问题,现场进行维修,终身提供技术支持!
2. 超出保修期后,成本价提供配件。

 

管式炉

1200℃ CVD管式炉标准尺寸

型号炉膛尺寸
(直径x加热区长度)
功率最高
温度
热电偶炉管加热
元件
BR-12CNT-40/30040x300mm3 KW1200℃K型石英管电阻丝
BR-12CNT-60/30060x300mm3 KW
BR-12CNT-80/30080x300mm5 KW
BR-12CNT-100/300100x300mm5 KW
BR-12CNT-120/300120x300mm6 KW
BR-12CNT-40/45040x450mm3 KW
BR-12CNT-60/45060x450mm3 KW
BR-12CNT-80/45080x450mm5 KW
BR-12CNT-100/450100x450mm5 KW
BR-12CNT-120/450120x450mm6 KW

 

 

1400℃ CVD管式炉标准尺寸

型号炉膛尺寸
(直径x加热区长度)
功率最高
温度
热电偶炉管加热
元件
BR-14CST-40/30040x300mm4 KW1400℃S型氧化铝管硅碳棒
BR-14CST-60/30060x300mm4 KW
BR-14CST-80/30080x300mm4 KW
BR-14CST-100/300100x300mm6 KW
BR-14CST-120/300120x300mm6 KW
BR-14CST-40/45040x450mm4 KW
BR-14CST-60/45060x450mm4 KW
BR-14CST-80/45080x450mm4 KW
BR-14CST-100/450100x450mm6 KW
BR-14CST-120/450120x450mm6 KW

 

1600℃ CVD管式炉标准尺寸

型号炉膛尺寸
(直径x加热区长度)
功率最高
温度
热电偶炉管加热
元件
BR-16CMT-40/30040x300mm4 KW1600℃B型氧化铝管硅钼棒
BR-16CMT-60/30060x300mm4 KW
BR-16CMT-80/30080x300mm4 KW
BR-16CMT-100/300100x300mm6 KW
BR-16CMT-120/300120x300mm6 KW
BR-16CMT-40/45040x450mm5 KW
BR-16CMT-60/45060x450mm5 KW
BR-16CMT-80/45080x450mm5 KW
BR-16CMT-100/450100x450mm7 KW
BR-16CMT-120/450120x450mm7 KW

 

更多实验电炉